规格

X

Y

Z

θx

θy

θz

重量

L

WNES6700-L

EKT3-50L※

EKS1-10L※

EKT3-50L※

KS501-60WL

KS501-40UR

KS504-60L

6.7KG

R

WNES6700-R

EKT3-50R※

EKS1-10R※

EKT3-50R※

KS501-90WLR

KS501-40U

KS501-60LR

行程

WNES6700

50mm

10mm

50mm

±6°

±8°

±8°

分辨率

1μm/脉冲(全)
0.05μm/脉冲(MS1/20)

0.5μm/脉冲(全)
0.05μm/脉冲(MS1/20)

1μm/脉冲(全)
0.05μm/脉冲(MS1/20)

0.0025°(全)
0.00125°(半)

0.0030°(全)
0.0015°(半)

0.0032°(全)
0.0016°(半)

光轴的高度

206mm