地址:辽宁省鞍山市国家高新区激光产业园区北园6栋中座
电话: 0412-5291499/5291439
传真:0412-5291499-808
产品特征:
1. 采用了划时代性模组结构的超薄型平台
在底座、工作台之间装上组合了滑台组和特殊交叉滚柱轴承,实现了超薄型结构。
2. 高刚性、高精度
高品质精磨级滚珠丝杠驱动,小导程,相同细分可达到高的分辨率级高的重复定位精度。
3. 超薄型、轻量化、中空结构
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
4 .润滑系统
在各种运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度。
5. 产品整体机构薄且轻,内部结构紧凑,可实现同时进行X轴的平移、Y轴的平移、Z轴的旋转。可实现任意位置再运动。
6. 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命
产品应用:
1. 面板贴膜
2. 3D网版印刷
3.玻璃侧角及磨边设备
4. Wafe对位设备
5. P.C.D曝光设备
6. 软体裁切设备
7. 半导体设备
工作台面尺寸(mm) |
200x200 |
基座尺寸(mm) |
350x350 |
行程(mm) |
±12x±12 |
中心角度(θ) |
±4° |
滚珠螺杆导程(mm) |
1 |
高度(mm) |
50 |
中孔(mm) |
60 |
水平负债能力(Kgf) |
80 |
主体材质 |
铝合金 |
工作台表面处理 |
黑色表面处理 |
往复定位精度(μm) |
2 |
电机类型 |
2相步进 |
电机输出轴形式 |
42单输出轴 |
本体重量(Kg) |
10 |
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